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探針冷熱臺的控制系統(tǒng)是怎樣的?

更新時間:2021-09-29      點擊次數(shù):873
   探針冷熱臺主要用于半導體行業(yè),其可滿足大多數(shù)用戶晶圓測試應用的需求。目前有多種型號可選,包括專業(yè)、高性能、半自動、通用功能和經(jīng)濟功能等。此外,還可提供必需的消耗品和附件。
  根據(jù)探針冷熱臺的結構,要實現(xiàn)測試臺的自動化控制,首先要對X、Y、Z移動平臺進行機械改造,采用步進電機代替原來的手輪。X、Y移動平臺的傳動和導向均采用絲桿與直線導軌結構,Z軸方向采用滾珠與直線導軌結構,兩者都具有導向精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好,對溫度變化的敏感性小等特點。但是步進電機與導軌是不能直接連接的。為了實現(xiàn)更好的機械耦合,帶來更好的實驗效果,系統(tǒng)中使用了柔性連軸器作為電機與導軌的中間紐帶。再加工相應的機械零件將電機固定于測試臺上。
  采用單片機作為下位機的主控芯片,單片機具有與眾不同的功能和特點,超低功耗設計可以提高電源的效率,節(jié)省電能,眾多的片內外圍設備可以減少成本的投入,方便的開發(fā)平臺和Flash型現(xiàn)場更新功能可以有效加速產(chǎn)品的開發(fā)進程。
  單片機先通過串口接收上位機界面的命令信息,再根據(jù)相應的命令通過相應的算法之后控制三個電機的轉與否,正轉或者反轉,以及轉動的步數(shù)和速度。因為探針冷熱臺是接觸式測試探針臺,所以在測量時先對X、Y軸電機進行控制,移動到測量位置之后再對Z軸電機進行控制。
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